2023年中國掩膜版行業(yè)市場現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢分析 行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程加速【組圖】

行業(yè)主要上市公司：清溢光電(688138);路維光電(688401);中芯國際(688981);華宏半導(dǎo)體(01347)等

本文核心數(shù)據(jù)：中國掩膜版行業(yè)國內(nèi)外企業(yè)原材料技術(shù)對比;全球主要掩膜版原材料公司布局現(xiàn)狀;中國半導(dǎo)體光刻膠自給率情況

國內(nèi)外掩膜版領(lǐng)域技術(shù)對比

掩膜版的主要原材料為掩膜基板，即涂有光阻和鍍鉻的玻璃基板。掩膜基板的質(zhì)量，對掩膜版產(chǎn)品最終品質(zhì)具有重大影響。我國掩膜版行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)已在光阻粘度調(diào)整優(yōu)化、光阻膜厚及均勻性優(yōu)化等方面取得了大量的成果，并成功將其應(yīng)用到G11、G8.5、G8.6高世代掩膜版產(chǎn)品中，實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)掩膜版行業(yè)在高精度、大尺寸光阻涂布技術(shù)上零的突破及對產(chǎn)業(yè)鏈上游技術(shù)的成功延伸，一定程度上縮小了與國外領(lǐng)先企業(yè)的差距。具體原材料技術(shù)對比情況如下：

再從掩膜版技術(shù)布局來看，半導(dǎo)體掩膜版技術(shù)壁壘高，工藝難度大，長期被美國福尼克斯等國外的龍頭企業(yè)所壟斷。以路維光電為例，路維光電在超大尺寸平板顯示用掩膜版的生產(chǎn)能力方面打破了國外廠商的長期壟斷，但與國外先進(jìn)技術(shù)相比仍存在一定差距，主要體現(xiàn)在光刻、顯影、蝕刻等工藝的細(xì)節(jié)上。

核心技術(shù)主要掌握在國外廠商

目前，中國只有少數(shù)廠商具備上游基材生產(chǎn)能力，大多數(shù)掩膜版企業(yè)主要采用采購掩膜版基材的方式。

根據(jù)路維光電招股說明書，公司所需原材料中，高世代石英基板及光學(xué)膜的供應(yīng)商集中于日本、韓國，目前國內(nèi)暫無供應(yīng)商可提供替代品，因此原材料存在一定的進(jìn)口依賴。全球主要掩膜版原材料公司布局情況如下：

掩膜版相關(guān)材料自給率保持較低水平

隨著近年來我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和顯示面板產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，國內(nèi)光刻膠生產(chǎn)商在這些細(xì)分市場的供給量較小，需求主要依賴于進(jìn)口，目前，6英寸硅片的g/i線光刻膠的自給率約為20%;8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠尚沒有國內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)?？梢钥闯?，在高端光刻膠市場，國內(nèi)市場是明顯處于供小于求的狀態(tài)的。

國產(chǎn)化趨勢分析

總體來看，美國修訂《出口管理?xiàng)l例》將250nm及以下制程的掩膜版納入限制清單，而國內(nèi)晶圓廠多不具備掩膜版生產(chǎn)能力，國產(chǎn)替代確定性強(qiáng)，預(yù)計未來將有更多龍頭企業(yè)加快生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)投入，盡快實(shí)現(xiàn)掩膜版國產(chǎn)替代。

更多本行業(yè)研究分析詳見前瞻產(chǎn)業(yè)研究院《中國掩膜版（光刻掩膜版）行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測與投資戰(zhàn)略規(guī)劃分析報告》。

同時前瞻產(chǎn)業(yè)研究院還提供產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、園區(qū)規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)招商、產(chǎn)業(yè)圖譜、智慧招商系統(tǒng)、IPO募投可研、IPO業(yè)務(wù)與技術(shù)撰寫、專精特新小巨人申報、十五五規(guī)劃等解決方案。

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